Bu çalışmada V2O5 ince filmleri cam ve p-Si alttaşlar üzerine, reaktif saçtırma yöntemi ile biriktirilmiştir. Reaktif saçtırma işleminde V hedef metal kaynağı ve O2 gazı reaktif gaz olarak kullanılmıştır. Saçtırma işleminin ...