Now showing items 1-1 of 1

    • Silisyum nanoyapı tabanlı gaz sensörü üretimi ve karakterizasyonu 

      Uzun, Nilüfer Uslu (Dicle Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2017)
      Bu tez çalışmasında Silisyum nanoteller Metal Yardımlı Kimyasal Aşındırma yöntemi kullanılarak elde edilmiştir. Aşındırma işleminin ardından termal ALD kullanılarak ZnO ince filmleri Si alttaş yüzeyi üzerine biriktirilmiş ...